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真空微电子学是一门新兴交叉学科，涉及到真空电子学、微电子学、薄膜技术和材料科学等多门学科和技术。本书从真空微电子学的形成、发展历史和*动态出发，系统地介绍了真空微电子学的物理基础，即场致发射理论和其他相关物理原理，详细地讨论了微细结构制造技术、真空微电子器件工作特性的数值模拟和器件结构设计，着重阐述了真空微电子学的应用及其对未来电子学发展的巨大影响。

本书可作为高等院电子信息技术、通信技术、微电子学及相关专业的高年级本科生教材，也可供从事真空微电子学研究与开发的专业技术人员参考。

1 绪论

1.1 引言

1.2 真空微电子学的发展历史

1.3 真空微电子学的特点和内容

1.4 真空微电子学的应用与发展趋势

思考题与习题

参考文献

2 场致发射

2.1 引言

2.2 表面电子特性

2.3 金属场致发射

2.4 半导体场致发射

2.5 内场致发射

2.6 场致发射电子的能量分布和Nottingham效应

2.7 空间电荷效应

思考题与习题

参考文献

3 器件物理与特性分析

3.1 引言

3.2 场致发射公式的特性

3.3 真空条件和FEA结构分析

3.4 FEA结构优化和理论极限

3.5 FEA热稳定性和材料选择

3.6 FEA阵列特性估算

思考题与习题

参考文献

4 数值计算与器件特性模拟

4.1 引言

4.2 数值计算模型的建立

4.3 静电场的数值模拟

4.4 电子轨迹及发射电流的计算

4.5 场致发射器件特性模拟

思考题与习题

参考文献

5 器件制造与工艺

5.1 引言

5.2 纵向器件的制备

5.3 横向器件的制备

5.4 器件封装

5.5 器件制备中所涉及的重要工艺

思考题与习题

参考文献

6 真空微电子器件

6.1 引言

6.2 真空集成电路有源元件

6.3 高频和微波器件

6.4 电子源和微电子光学系统

6.5 场致发射显示屏

6.6 传感技术

6.7 显微技术

思考题与习题

参考文献

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书籍介绍

《真空微电子学及其应用》可作为高等院电子信息技术、通信技术、微电子学及相关专业的高年级本科生教材，也可供从事真空微电子学研究与开发的专业技术人员参考。真空微电子学是一门新兴交叉学科，涉及到真空电子学、微电子学、薄膜技术和材料科学等多门学科和技术。《真空微电子学及其应用》从真空微电子学的形成、发展历史和最新动态出发，系统地介绍了真空微电子学的物理基础，即场致发射理论和其他相关物理原理，详细地讨论了微细结构制造技术、真空微电子器件工作特性的数值模拟和器件结构设计，着重阐述了真空微电子学的应用及其对未来电子学发展的巨大影响。